Quali fattori influenzano la precisione delle binari lineari ad alta precisione?
Binari lineari ad alta precisione(solitamente utilizzato nella produzione di semiconduttori, apparecchiature di test di precisione, macchine utensili di fascia alta e altri scenari, il livello di accuratezza di C5 e superiore, ripetere l'accuratezza del posizionamento inferiore o uguale a ± 0. 005mm) della precisione dei semi che possono essere più complessi e sensibilizzati, più complessi, con la formazione più complessa, con la travatura dei semi più complessi) Categorie:
Innanzitutto, il nucleo della catena di produzione di fattori influenzanti
1. Processo di trattamento del materiale e del calore
Uniformità materiale:
corpo guida per lo più usando acciaio con cuscinetti cromati ad alto contenuto di carbonio (come suj2) o materiali ceramici, se il materiale presenza interna di inclusioni sciolte, segregazioni o non metalliche (dimensioni> 5μm che possono influenzare), porterà a una distribuzione irregolare dello stress trattato di calore, che a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a turno, che si troverà a tudio, che si tratta di remifica. danneggiato.
Accuratezza del trattamento termico:
Se la temperatura non è adeguatamente controllata durante il processo di indurimento (come le fluttuazioni della velocità di riscaldamento ± 5 gradi), porterà a una durezza irregolare della superficie della guida guida (HRC 58-62 e la deviazione inferiore o uguale a 1HRC), la differenza di resistenza all'usura locale porterà a una grazia irregolare e di un errore di precisione cumulativa dopo un'operazione lunga. e il temperamento non è sufficiente sarà sollecitazioni interne residue, risultando in una piccola quantità di deformazione della guida guida nel tempo (come la deformazione della lunghezza di ciascun metro dell'anno ＞ 0. 0 02mm che colpisce l'accuratezza). 0,002 mm di deformazione annuale per lunghezza del metro influenzerà l'accuratezza).
2. Processo di lavorazione di precisione
Micro precisione della sezione trasversale della guida guida:
Guida Rail Raceway Il raggio della tolleranza alla curvatura deve essere controllato a ± {{0}}. 0 0 1mm (guida ordinaria per ± 0,01mm), se la deviazione è troppo grande porterà alla palla e al punto di contatto in razza, risultando in una guida aggiuntiva, influendo sul remi di remi), se la deviazione è troppo grande porterà alla palla e al punto di contatto in razza, risultando in una guida aggiuntiva, influisce sul rendimento di remi di remi), se la deviazione è troppo grande alla palla e il punto di contatto in razza, risultando in una guida aggiuntiva, influendo sul remi di Restanza; Il lato guida del piano di riferimento richiede meno o uguale a 0,002 mm/100 mm (guida ordinaria per meno o uguale a 0,01 mm/100 mm), altrimenti non è possibile installare l'installazione, la guida non può essere utilizzata. 100 mm), altrimenti l'installazione non può garantire l'accuratezza del posizionamento attraverso la superficie di riferimento.
Stabilità del processo di macinazione:
L'elaborazione finale della Guida di precisione si basa sulla macinazione ultra-precisione (velocità della ruota di macinazione maggiore o uguale a 15 0 0 0 r/min), se l'usura della ruota è uniforme (come l'usura dell'ora ＞ 0,002 mm), la fluttazione dell'alimentazione (± 0.00 mmm). La guida con il grado di corrugazione (requisito inferiore o uguale a 0,1 μm/25 mm), che influisce direttamente sulla fluidità del funzionamento del cursore.
3. Accuratezza dell'assemblaggio e dell'accoppiamento
Il binario di guida di precisione viene solitamente utilizzato processo di macinazione della coppia "binario - cursore", se l'abbinamento della tolleranza del diametro della sfera in acciaio (requisiti inferiori o uguali a ± 0. 0 0 0 5mm) è incoerente, la deviazione di posizione del canale circolante nel channel in meno di ± o pari a ± 0,002) Forza irregolare sulla sfera di acciaio durante il funzionamento, con conseguente vibrazione ciclica (ampiezza inferiore o uguale a 0,001 mm). (ampiezza inferiore o uguale a 0,001 mm), riducendo la ripetibilità dell'accuratezza del posizionamento.
In secondo luogo, i fattori di installazione e messa in servizio
1. Precisione del dato di installazione:
Installation of the base of the guide rail flatness needs to be Less than or equal to {{0}}.005mm/100mm (ordinary scene is Less than or equal to 0.02mm/100mm), if there is a bump or depression, will lead to deformation of the guide rail deformation of the force (deformation of the amount of per meter > 0,003 mm che colpisce l'accuratezza); La rugosità della superficie di base deve essere inferiore o uguale a RA0,8 μm, altrimenti il bullone verrà serrato a causa di un contatto irregolare con le sollecitazioni locali. Altrimenti, quando i bulloni vengono serrati, lo stress localizzato verrà generato a causa di un contatto irregolare.
Durante la giunzione di più binari di guida, la differenza di altezza (inferiore o uguale a {{0}}. 002 mm) e disallineamento (meno o uguale a 0,003 mm) alle articolazioni devono essere strettamente controllate, altrimenti il cucciolo avrà un impatto quando patterà attraverso le articolazioni, risultando in fluttuazione istantanea nella precisione.
2. Metodo di fissaggio dell'installazione:
Il precarico di bulloni irregolari (controllo della chiave di coppia consigliato, errore inferiore o uguale a ± 5%) porterà alla flessione locale del binario di guida; Se la spaziatura del bullone è troppo grande (più di 300 mm), può essere allentata a causa di vibrazioni dopo un lungo periodo di funzionamento e l'errore di posizionamento verrà accumulato.
Guida e base del modo fisso (come la chiusura assistita adesiva) Se lo spessore dello strato adesivo non è uniforme (Deviazione> 0. 002mm), porterà a tracce di inclinazione, che colpisce la rettilineità.
3. Parallelismo e aggiustamento della coassialità:
Quando è installata la doppia guida, l'errore di parallelismo deve essere inferiore o uguale a {{0}}. 003mm/500mm (la scena comune è inferiore o uguale a 0,01 mm/500 mm), altrimenti la forza su entrambe le estremità del cursore è sbilanciata, generando una coppia di fretta aggiuntiva, che ha fatto la pista per la pista.
La deviazione di coassialità (inferiore o uguale a 0. 005mm) con il sistema di azionamento (ad esempio vite a sfera), se superata, genererà la forza laterale a causa dell'offset di direzione della forza di azionamento, distruggendo l'accuratezza del movimento della guida.
Terzo, l'uso di fattori ambientali
1. Fluttuazioni della temperatura:
La guida di precisione è estremamente sensibile alle variazioni di temperatura, alle fluttuazioni della temperatura ambiente di 1 grado, la guida (acciaio) sarà dovuta all'espansione termica e alla contrazione della lunghezza di 0. 0 11mm / m Modifiche (coefficiente di espansione lineare di 11 × 10- ⁶ / grado) errori. Ad esempio, nella litografia a semiconduttore, la temperatura ambiente deve essere controllata a 23 ± 0,1 gradi per evitare la deformazione termica della guida.
2. Vibrazione e shock:
Le vibrazioni esterne (come l'accelerazione della vibrazione a terra> {{0}}. 01g) porteranno a guida e cursore tra la micro-slittamento (ampiezza> 0,0005 mm), riducendo l'accuratezza del posizionamento statico; Shock frequenti (come le fluttuazioni della forza di taglio nelle attrezzature di lavorazione) accelereranno l'usura della sfera in acciaio e della pista, in modo che l'accuratezza dell'uso del tempo con un rapido declino.
3. Pulizia e lubrificazione:
Dust in the Environment (Particle size> {{0}. 5μm) nella pista, porterà a sfera in acciaio e usura di macinazione della corsa, declino a breve termine della precisione; La purezza del grasso (particelle di impurità inferiore o uguale a 0,001 mm) e il riempimento (ogni 100 km di funzionamento per riempire la quantità di tempo) non è sufficiente, esacerbarerà l'attrito, con conseguente deviazione ciclica di precisione.
In quarto luogo, il materiale e l'uso di fattori di perdita
1. Stabilità del materiale:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0. 002mm/m) a causa del rilascio di sollecitazione nell'uso a lungo termine, con conseguente deriva di precisione.
2. Indossa e affaticamento:
Anche in condizioni di lavoro ideali, lo stress di contatto tra palla d'acciaio e raceway (fino a 3 0 00MPA o più) porterà a una piccola usura e dopo un funzionamento accumulativo di 100 km, l'accuratezza del posizionamento ripetuta può diminuire di 0. 001-0. 002mm; Se si verifica il caricamento (Centro di offset di carico ＞ 5 mm), l'usura sarà aggravata e la velocità del declino della precisione aumenterà di 3-5 volte.
In sintesi, l'accuratezza di Alta precisione lineare Rails è il risultato della sinergia dell'intera catena di "Accuratezza della produzione - Controllo dell'installazione - Gestione ambientale - Uso e manutenzione" e qualsiasi piccola deviazione in qualsiasi collegamento può ingrandire l'errore di accuratezza finale, quindi è necessario eseguire l'intero processo di controllo nella progettazione e nell'applicazione.
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